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[SEDEX 2025] 에스티아이 "고순도 합성쿼츠 지그, 반도체 기업 퀄 테스트 돌입"
관리자 ㅣ 2025.12.10 ㅣ 조회:231
반도체 부품 소재·장비업체 에스티아이가 "국내 주요 반도체 업체와 합성쿼츠 지그(포커스링)의 퀄(품질) 테스트를 진행 중"이라고 밝혔다.
에스티아이 관계자는 24일 서울 삼성동 코엑스에서 열린 제27회 반도체대전(SEDEX 2025)에서 "현재 반도체 식각·패터닝 공정에 적합한 순도 6N(99.9999%)인 합성쿼츠를 제조하고 있다"며 "이를 이용해 식각·패터닝 공정 시 웨이퍼를 올려놓고 고정하는 포커스링을 만들었다"고 설명했다.
에스티아이는 해당 포커스링을 테스트 중인 고객사는 공개하지 않았다. 포커스링은 반도체 전공정에서 웨이퍼를 지지하는 부품이다. 국내 반도체 전공정 기업은 삼성전자와 SK하이닉스, DB하이텍 등이 있다.
식각·패터닝 공정 시 웨이퍼는 회로 구현용 고출력 플라스마에 노출된다. 웨이퍼를 지지하는 포커스링도 마찬가지다. 이 때 포커스링은 조금씩 마모된다.
에스티아이는 "기존에 지그 제작 소재로 많이 쓰인 천연쿼츠는 불순물이나 높은 하이드록시기(OH) 함량을 가진다"며 "강한 플라스마가 조사되면 이런 불순물들이 웨이퍼로 떨어지고, 불량품이 발생한다"고 언급했다. 이어 "이 때문에 반도체 대기업들은 최근 천연쿼츠에서 합성쿼츠 기반 제품으로 전환하는 추세"라고 덧붙였다. 쿼츠의 OH는 알칼리 금속 이온 등 미량의 불순물과 결합, 웨이퍼 오염을 일으킬 수 있다.
에스티아이는 합성쿼츠 시장 후발주자로, 기존 업체를 추격 중이다. 지난 2022년 한국세라믹기술원과 협력해 반도체용 합성쿼츠 소재를 개발했다. 기존 합성쿼츠 시장은 헤레우스와 큐실, 토소 등 독일·일본·미국 소재 기업들이 주로 공급 중이다.
에스티아이는 "반도체 공정은 안정성이 중요해서 대기업이 새 제품으로 바꾸려면 오랜 검증이 필요하다"며 "품질 테스트는 시간이 꽤 걸릴 수도 있다"고 밝혔다.
현재 에스티아이 매출은 합성쿼츠 소재가 아닌 제조장비에서 주로 발생한다. 이는 해당 장비의 성능 검증 기준이 소재보다 단순하기 때문이다.
에스티아이는 "제조 장비는 실제 생산능력 여부를 중점 평가한다"며 "에스티아이는 장비 판매 시 생산량을 보장한다"고 강조했다. 이어 "광섬유 사업 경험을 기반으로 합성쿼츠 제조 공정 최적화 노하우도 제공해 고객사가 원하는 제품을 바로 생산할 수 있도록 돕는다"고 부연했다. 에스티아이는 합성쿼츠 제조용 증착 장비와 소결 시스템, 진공 소결 장비, 소킹 장비 등을 보유 중이다.
에스티아이는 "합성쿼츠 소재 매출은 아직 미미하지만 포커스링 품질 테스트와 협의가 끝나면 구체화될 것"이라며 "고객사 요청에 따라 규모는 다르겠지만 유의미한 매출 증대를 예상한다"고 내다봤다. 이어 "합성쿼츠 부품은 사용처와 품질에 따라 단가가 10만원에서 100만원 이상까지 상승할 수 있다"고 덧붙였다.
에스티아이는 1989년 설립한 광섬유 모재 설비업체다. 반도체·세라믹 전기로와 전기 가마 사업도 하고 있다. 최근 전기차 전력 반도체 웨이퍼에 사용되는 탄화규소(SiC) 잉곳과 파우더도 소재·장비도 공급하고 있다.
디일렉=정일주 기자 1week@thelec.kr
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